用于 PERC, TOPCon, XBC等高效电池手艺蹊径的应用
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优异的温度控制和等离子控制系统，可兼容PECVD工艺，搭配超高载片量的石墨舟设计，在确保装备产能的同时大幅提升电池转换效率
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精准制备薄膜厚度小于2nm的隧穿氧化硅，同时兼容多种质料与工艺，包罗 SiO?/poly-Si(n+), poly-Si(p+), Al?O?/SiNx 等
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提供 TOPCon 量产工艺 PEALD/ PECVD 蹊径集成手艺，钝化接触手艺所需多晶硅原位掺杂浓度（1E20~1E21）可调
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针对新型PE-TOPCon电池手艺焦点的隧穿氧化层与多晶硅薄膜研发了可镀导电膜、原位掺杂与无爆膜的管式PEALD/PECVD ToxPoly同管集成手艺，研究效果被普遍转载并乐成完成工业化
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