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    产物手艺
    正膜Al?O?/SiN?
    祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统
    祝融系列ZR5000×3管式 PEALD/PECVD集成镀膜平台延伸祝融系列看法，一体式设计实现氮化硅正膜、氧化铝/背膜、氧化硅/多晶硅钝化膜一站式完成，可实现单道产能翻倍，节约占地面积。ZR5000×3兼具先进的制造执行治理系统（MES）和自动导引车（AGV）对接功效。在提供超高产能的同时，最洪流平降低装备的运营成本，为后PERC高效电池手艺提供理想可靠的量产解决方案，引领光伏工业化高效电池制造。
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    产物特点
    用于 PERC, TOPCon, XBC等高效电池手艺蹊径的应用
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    搭配高载片量的石墨舟设计
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    具备优异的薄膜厚度匀称性
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    精准制备薄膜：Al?O?, SiO?, poly-Si(n+), poly-Si(p+), SiNx/ SiC/ SiON 等
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    提供 PERC/ TOPCon 量产工艺 PEALD/ PECVD 蹊径集成手艺
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