用于TOPCon, XBC, TOPCon+HJT等高效电池手艺蹊径的应用
1
All-in-one 镀膜手艺，可在统一工艺管内一连完成超薄隧穿氧化层，非晶硅层，原位掺杂多晶硅层以及原位掩膜层的沉积，极大地简化了生产工艺
2
优异的温度控制和等离子控制系统，搭配超高载片量的石墨舟设计，在确保装备产能的同时大幅提升电池转换效率
3
精准制备 SiOx/Poly-Si(n+),Poly-Si(i),Poly-Si(p+),SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等叠层膜，优异的薄膜厚度匀称性
4
针对新型PE-TOPCon电池手艺焦点的隧穿氧化层与多晶硅薄膜研发了可镀导电膜、原位掺杂与无爆膜的管式PECVD ToxPoly同管集成手艺，研究效果被普遍转载并乐成完成工业化，受到了行业的认可，市chang占有率快速攀升
6
