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产物手艺
工业化应用中心
iTomic? MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic? MW Lite批量轻型系列ALD系统，装备以国产化零部件为主导，可知足高端研发和新工艺试量产需求，尤其适用于新型太阳能电池以及显示行业应用。
销售邮箱
semisale@xinkeliit.com
产物特点
接纳最新自主设计开发的？榛远教 与ALD反映腔
1
实现可自由选择的半自动或全自动ALD系统
2
知足种种晶圆尺寸(4、6英寸)的工艺需求，适用于客户高端研发和新工艺开发
3
4寸晶圆可实现单批ci装载450pcs
4
薄膜匀称性优，可实现片内<1.5%
5
知足供应链高比率国产化需求
6
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