亚美AM8AG

CN
产物手艺
正膜Al?O?
夸父?系列KF20000批量式ALD系统
夸父系列工业批量型原子层沉积系统接纳亚美AM8AG原创的反映腔体设计和先进的薄膜沉积及自动化集成手艺,可为高效晶硅太阳能电池外貌钝化提供高质量超薄钝化膜的制备，确保电池光电转换效率的进一步提升。基于乐成量产机型的设计原理，夸父系列 ALD薄膜钝化系统是亚美AM8AG乃阶原创设计的第五代产物，代表了光伏行业国产创新装备的先进手艺，在提供超高产能的同时,最洪流平降低装备的运营成本，为客户提供可靠的量产解决方案，引领光伏工业化高效电池智能化制造。
销售邮箱
产物特点
适用于PERC, PERT, TOPCon, XBC, HJT, Perovskite, Tandem-Cell等高效电池手艺的应用
1
可制备薄膜包罗Al?O?, SiO?, TiO?, ZnO, SnO?, HfO?, ZrO?等
2
单腔最大装片量可达3360片/批ci，兼容M10-M12硅片尺寸，升级切换简朴
3
准确实现原子层级薄膜厚度控制（1-10 nm，可调），具备优异的薄膜厚度匀称性
4
自力运行反映腔体，确保最大化装备运行率（>99%）
5
提供定制化重大纳米叠层工艺以及CVD兼容功效
6
【网站舆图】【sitemap】