江苏亚美AM8AG纳米科技股份有限公司

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iTomic? HiK系列原子层沉积系统

iTronix?系列化学气相沉积系统

iTomic? MW系列批量式原子层沉积系统

iTomic? PE系列等离子体zeng强原子层沉积系统

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iTronix?系列化学气相沉积系统

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iTomic? HiK系列原子层沉积系统

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Trancendor?晶圆真空传输系统

光伏

硼扩散

羲和?系列高温低压系统

退火

羲和?系列高温低压系统

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祝融系列ZR5000×2管式PECVD ToxPoly All-in-one 系统

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统

正膜Al?O?/SiN?

祝融系列ZR5000×2管式PEALD/PECVD集成系统

祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系统

正膜Al?O?

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背膜SiN?

祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统

阻隔封装

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工业化应用中心

iOptomic 系列原子层沉积系统

iTomic? PE系列等离子体zeng强原子层沉积系统

后羿?系列板式ALD系统

iSparol系列卷对卷ALD系统

iTomic? MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统

背膜SiN?

祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统

祝融系列ZR5000×1管式PECVD系统突破性解决传统管式PECVD的产能瓶颈，可与亚美AM8AG纳米ALD钝化手艺无缝对接，确保PERC、TOPCon、XBC等高效电池生产。以先进手艺和装备高度集成，形成高质量、高产能、低成本的工业化量产。

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产物特点

适用于 PERC, PERT, TOPCon, XBC 等高效电池手艺的应用

优异的温度和等离子体控制系统与高载片量，辅助搭配 ALD 钝化薄膜，提升效率与降低生产成本

精准制备 SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等复合钝化膜，精准控制各层光学参数与厚度

优异的薄膜厚度匀称性